現(xiàn)在制備超純水的方法是將各種純化水的新技術(shù)科學(xué)地結(jié)合起來，不僅能生產(chǎn)超純水，而且工藝普及度較高。目前市售的超純水設(shè)備就是一個(gè)成功的例子。自來水進(jìn)去超純水出來，非常方便。而且使用壽命也越來越長(zhǎng)。超純水設(shè)備制備超純水的原理和步驟大體如下：

1、原水：可用自來水或普通蒸餾水或普通去離子水作原水。

2、機(jī)械過濾：通過機(jī)械過濾器濾除機(jī)械雜質(zhì)，如鐵銹和其他懸浮物等。

3、活性炭過濾：活性炭是廣譜吸附劑，可吸附氣體成分，如水中的余氯等;吸附細(xì)菌和某些過渡金屬等。氯氣能損害反滲透膜，因此應(yīng)力求除盡。

4、反滲透膜過濾：可濾除95%以上的電解質(zhì)和大分子化合物，包括膠體微粒和病毒等。由于絕大多數(shù)離子的去除，使離子交換柱的使用壽命大大延長(zhǎng)。

5、紫外線消解：借助于短波(180nm-254nm)紫外線照射分解水中的不易被活性炭吸附的小有機(jī)化合物，如甲醇、乙醇等，使其轉(zhuǎn)變成CO2和水，以降低TOC的指標(biāo)。

6、離子交換單元：已知混合離子交換床是除去水中離子的決定性手段。借助于多級(jí)混床獲得超純水也并不困難。但水的電阻率指標(biāo)主要來自樹脂床。因此，高質(zhì)量的離子交換樹脂就成為成敗的關(guān)鍵。所謂高質(zhì)量的樹脂，就是化學(xué)穩(wěn)定性特別好，不分解，不含低聚物、單體和添加劑等的樹脂。所謂"核工業(yè)級(jí)樹脂"大概就屬于這一類樹脂。對(duì)樹脂的要求是質(zhì)量越高越好。可惜國(guó)內(nèi)很少有人在這方面下工夫。滿足于生產(chǎn)大路貨。

7、0.2μm濾膜過濾，以除去水中的顆粒物到每毫升1個(gè)(小于0.2μm的).經(jīng)過上述各步驟處理后生產(chǎn)出來的水就是超純水了。應(yīng)能滿足各種儀器分析，高純分析，衡量。

在電子行業(yè)中，超純水的應(yīng)用十分廣泛。生產(chǎn)半導(dǎo)體、集成電路芯片及封裝、液晶顯示、高精度線路板、光電器件、各種電子器件等電子工業(yè)都用超純水設(shè)備。水質(zhì)可達(dá)可達(dá)18.2兆歐，符合電子行業(yè)生產(chǎn)所需超純水水質(zhì)要求。